在半导体制程中探测化学溶剂泄漏的装置及方法

摘要

一种在半导体制程中探测化学溶剂泄漏的装置，包括：一控制盒，用以接收至少一输入信号，上述控制盒包括一前面板、一电路板，用以接收至少一输入信号并触发一报警信号，上述前面板包括一第一指示器，用以提供上述报警信号，表示探测到化学溶剂泄漏；一托盘，用以搜集泄漏的化学液体，包括多个垂直侧边以及多个腿部，其中至少一腿部是可调整的，使上述托盘的一个角落比上述托盘的其它角落更靠近地面；以及一传感器，用以探测化学溶剂的泄漏以及传送上述输入信号至上述控制盒。

主权项

1.一种在半导体制程中探测化学溶剂泄漏的装置，包括：一控制盒，用以接收至少一输入信号，该控制盒包括一前面板以及一电路板，该电路板用以接收至少一输入信号并触发一报警信号，该前面板包括一第一指示器，用以提供该报警信号，表示化学溶剂泄漏；一托盘，用以搜集泄漏的化学液体，该托盘包括多个垂直侧边以及多个腿部，其中至少一腿部是可调整的，使该托盘的一个角落比该托盘的其它角落更靠近地面；一贴附于该托盘的夹子；以及一传感器，用以探测化学溶剂的泄漏以及传送该输入信号至该控制盒。