发明名称 Method and apparatus for measuring film thickness and film thickness growth
摘要
申请公布号 GB2416209(A) 申请公布日期 2006.01.18
申请号 GB20050020875 申请日期 2004.04.19
申请人 TANGIDYNE CORPORATION 发明人 SCOTT GRIMSHAW
分类号 G01H13/00;G01B7/06;G01N29/12;G01N29/24 主分类号 G01H13/00
代理机构 代理人
主权项
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