用以减少堆叠缺陷成核位置之平版印刷方法以及具有减少之堆叠缺陷成核位置之结构

摘要

本发明系关于藉由在一具有一朝向一结晶学方向之离轴定向(off-axis orientation)的碳化矽基板之一表面中形成特征来制作磊晶碳化矽层。该等特征包括不平行于(意即，倾斜式垂直于)该结晶学方向而定向之至少一侧壁。按着，在其中包括特征之该碳化矽基板之该表面上生长该磊晶碳化矽层。