发明名称 | 检测修复系统及检测修复方法 | ||
摘要 | 一种检测修复系统,其系用以检测、修复一有机发光装置。其中,检测修复系统系于侦测缺陷位置时,将有机发光装置之待检测区域施加一偏压,并利用一电流侦测器(如红外光(IR)电流侦测器)侦测出电流分布异常之缺陷位置;且利用一能量束产生器来产生口能量束,能量束系用以将缺陷位置。另外,本发明亦提供一种利用上述系统来检测、修复有机发光装置之检测修复方法。 | ||
申请公布号 | TW200603316 | 申请公布日期 | 2006.01.16 |
申请号 | TW093121198 | 申请日期 | 2004.07.15 |
申请人 | 铼宝科技股份有限公司 | 发明人 | 廖孟杰;陈济中 |
分类号 | H01L21/66;H05B33/10 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹县湖口乡新竹工业区光复北路12号 |