Fremgangsmater og apparat for skjerming av MEMS anordninger

摘要

En fremgangsmåte for å sammenstille en mikro- elekfromekanisk system (MEMS) anordning (200) som innbefatter en mikromaskin (208) er beskrevet. Fremgangsmåten omfatter å danne mikromaskinen på en brikke, idet brikken har en øvre overflate (224) og en nedre overflate (222), å tilveiebringe et flertall av brikkebondingsunderlag (226) på en overflate (228) av et hus (202), og å montere minst en av den øvre overflaten av brikken og komponenter i mikromaskinen til brikkebondingsunderlaget, slik at en nedre overflate av brikken i det minste delvis skjermer komponenter i mikromaskinen fra løst getteringmateriale.