发明名称 Ferroelektrische Speicherzelle und deren Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69828834(T2) 申请公布日期 2006.01.12
申请号 DE1998628834T 申请日期 1998.03.06
申请人 SHARP K.K., OSAKA;SHARP MICROELETRONICS TECHNOLOGY, INC. 发明人 HSU, SHENG TENG;LEE, JONG JAN;PENG, CHIEN-HSIUNG
分类号 G11C11/22;H01L21/28;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L21/84;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 G11C11/22
代理机构 代理人
主权项
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