| 主权项 |
1.一种光纤干涉式厚度测量装置,其包括:一测量光 源、一光感知器,其改良在于:其进一步包括一光 耦合器、二光纤、一电光调制器、一讯号处理器 及一正弦讯号产生器,其中,该测量光源之输出端 连接至光耦合器之输入端,该光耦合器之输出端分 别连接二光纤之输入端,该电光调制器设置于该二 光纤之一上,其利用电光效应将正弦讯号产生器产 生之正弦讯号施加于该二光纤之一传输之光讯号 上,该光感知器之输入端连接至该光耦合器之输入 端,其接收经由二光纤传输至光耦合器的包含厚度 量测讯息的干涉光讯号,并将包含厚度量测讯息的 干涉光讯号转变为包含厚度量测讯息的电讯号后 输出至讯号处理器。 2.如申请专利范围第1项所述之光纤干涉式厚度测 量装置,其中该二光纤之输出端各分别设置一光纤 准直器。 3.如申请专利范围第2项所述之光纤干涉式厚度测 量装置,其中该光纤准直器系固定于一微调基座上 。 4.如申请专利范围第3项所述之光纤干涉式厚度测 量装置,其中该微调基座可作微调移动。 5.如申请专利范围第1项所述之光纤干涉式厚度测 量装置,其中该测量光源为半导体雷射。 6.如申请专利范围第1项所述之光纤干涉式厚度测 量装置,其中该讯号处理器进一步包括一频率滤 波电路及2频率滤波电路。 7.如申请专利范围第1项所述之光纤干涉式厚度测 量装置,其中该讯号处理器进一步包括一比较放大 器。 8.一种光纤干涉式厚度测量方法,其包括: 利用一测量光源、一光耦合器及二光纤构成一光 纤干涉仪; 利用一正弦讯号产生器产生一正弦讯号输入一电 光调制器; 该电光调制器利用电光效应调制该二光纤之一,使 其中传输之光讯号产生一正弦光相位差; 利用光感知器将该光讯号转变为对应之电讯号并 输入一讯号处理器。 9.如申请专利范围第8项所述之光纤干涉式厚度测 量方法,其中该讯号处理器利用一频率滤波电路 及一2频率滤波电路分别滤出正比于正弦厚度讯 号及余弦厚度讯号之电压。 10.如申请专利范围第9项所述之光纤干涉式厚度测 量方法,其中该讯号处理器利用一比较放大器得到 一与厚度呈线性关系的电压讯号。 图式简单说明: 第一图系本发明之光纤干涉式厚度测量装置之第 一实施方式之结构示意图。 第二图系本发明之光纤干涉式厚度测量装置之第 二实施方式之结构示意图。 |
