| 主权项 |
1.一种静电式可动微镜面晶片,系包含有: 一上镜面板,包含有一下底面及一上底面,且具有 一镜片,该镜片同向于该上底面系为一镜面,且以 至少一悬臂悬浮连接于该上镜面板;及 一下电极板,具有一与该上镜面板相接合之上表面 ,且该上表面系包含有一对应于该镜片之活动槽, 该活动槽表面系为一电极面; 一个以上之定位槽,设于该上镜面板与该下电极板 其中之一;及 一个以上之对位焊料,对应于该定位槽而设于另一 该上镜面板或该下电极板; 其中藉由该对位焊料与该定位槽相配合定位,使该 上镜面板与该下电极板对位接合,并透过加热的方 式使该焊料与定位槽熔接,进而固定该上镜面板与 该下电极板。 2.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该镜片相对的两侧各包含有一扭转臂, 使该镜片受静电驱动时,可沿着该两扭转臂转动。 3.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该镜片仅单侧具有该悬臂,使该镜片受 静电驱动时,可沿着该悬臂摆动。 4.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该上镜面板之上底面系具有一配合该镜 片之凹槽,且该镜片之厚度小于该上镜面板之厚度 。 5.如申请专利范围第4项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该镜片之底面系概略与该上镜面板之下 底面切齐。 6.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该定位槽系设于该上镜面板,且位于该 下底面邻近于该镜片两侧。 7.如申请专利范围第6项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该对位焊料系对应于该定位槽而设于该 下镜面板,并邻近于该活动槽两侧。 8.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该对位焊料系设于该上镜面板,且位于 该下底面邻近于该镜片两侧。 9.如申请专利范围第8项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该定位槽系对应于该对位焊料而设于该 下镜面板,并邻近于该活动槽两侧。 10.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该下电极板之活动槽内具有一部分绝缘 层,防止该上镜面板之镜片于活动过程中与该活动 槽接触。 11.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该下电极板之活动槽内具有至少一绝缘 凸柱,防止该上镜面板之镜片于活动过程中与该活 动槽接触。 12.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该对位焊料底部系设有一略大于该对位 焊料面积之焊料种子层。 13.如申请专利范围第12项所述之静电式可动微镜 面晶片,其中该焊接部系利用一渐缩之狭口连接于 一电讯连接区,且该电信连接区系于该上镜面板与 该下电极板对位接合后仍外露。 14.如申请专利范围第12项所述之静电式可动微镜 面晶片,其中该焊接部系连接于一电讯连接区,并 具有一垂直之阻挡墙区隔于该焊接部及该电讯连 接区,且该电信连接区系于该上镜面板与该下电极 板对位接合后仍外露。 15.如申请专利范围第1项所述之静电式可动微镜面 晶片,其中该上镜面板之镜片的两侧皆镀有金属镜 面。 16.如申请专利范围第15项所述之静电式可动微镜 面晶片,其中该金属镜面之组成材质系选自由金、 银、钛、铂、铬及铝所构成之组合中的一个。 17.如申请专利范围第15项所述之静电式可动微镜 面晶片,其中该对位焊料系为低温熔接之焊料。 18.如申请专利范围第15项所述之静电式可动微镜 面晶片,其中该对位焊料系为导电胶。 图式简单说明: 第1A图系为本发明静电式可动微镜面晶片之分解 示意图; 第1B图系为本发明静电式可动微镜面晶片之结合 示意图; 第2A-2D图系为本发明上镜面板之制作流程示意图; 第2E图系为本发明上镜面板之另一实施态样示意 图; 第3A-3D图系为本发明下电极板之制作流程示意图; 第3E-3F图系为本发明下电极板之另一实施态样示 意图; 第4A-4C图系为本发明上下电极板结合之示意图; 第5A-5B系为本发明对位焊料与定位槽之配置示意 图; 第6图系为本发明之另一应用例示意图;及 第7A-7B图系为本发明保护连接区不受污染之机制 示意图。 |
