发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING AN ELECTRO-MECHANICAL COMPONENT AND AN ELECTRO.MECHANICAL COMPONENT, SUCH AS A STRAINED SI FIN-FET
摘要
申请公布号 EP1613548(A2) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 EP20040707137 申请日期 2004.01.31
申请人 PAUL SCHERRER INSTITUT 发明人 GRUETZMACHER, DETLEV
分类号 B81B3/00;H01L29/786;H01L29/80;(IPC1-7):B81B3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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