水气供应装置

摘要

一种水气供应装置，其包括一水瓶、一质量流量控制器、一第一管件、一第二管件以及一第一加热器，其中第一管件是连接水瓶与质量流量控制器，而第一加热器是配置于第一管件上，或配置在第一管件与第二管件上。此外，本装置更可以在水瓶的顶盖上配置一第二加热器。本实用新型是采用配置加热器的设计，使得水气不易凝结于管件内壁，以避免发生水气流量减低或是堵塞的现象。基于上述，本实用新型的水气供应装置能够供应流量稳定的水气，以形成品质较为稳定的薄膜。

主权项

1.一种水气供应装置，适于供应一水气至一溅镀设备之一反应腔室内，其特征在于，该水气供应装置包括：一水瓶；一质量流量控制器；一第一管件，连接该水瓶与该质量流量控制器；一第二管件，连接该质量流量控制器与该反应腔室；以及一第一加热器，配置于该第一管件上。