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发明名称 APPARATUS FOR CHUCKING A WAFER
摘要
申请公布号 KR20060001420(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20040050542 申请日期 2004.06.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, YONG WOO;PARK, JONG CHUL
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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