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发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060000295(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20040049067 申请日期 2004.06.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JEON, SEONG EOK
分类号 H01L21/00;H01L21/20 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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