| 发明名称 |
PROCEDE POUR CONTRAINDRE UN MOTIF MINCE |
| 摘要 |
<P>L'invention concerne un procédé permettant de contraindre ou de déformer un motif ou une couche mince (24), à partir d'un composant initial comportant ladite couche mince et une couche précontrainte (20), ce procédé comportant :- une étape de gravure de la couche précontrainte, perpendiculairement à sa surface.</P>
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| 申请公布号 |
FR2872626(A1) |
申请公布日期 |
2006.01.06 |
| 申请号 |
FR20040051440 |
申请日期 |
2004.07.05 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL |
发明人 |
BARBE JEAN CHARLES;ERNST THOMAS |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/336;H01L21/8232;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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