| 发明名称 |
Dosissteuerung zur Korrektur der Linienbreitenänderung längs der Abtastrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60021293(T2) |
申请公布日期 |
2006.01.05 |
| 申请号 |
DE20006021293T |
申请日期 |
2000.01.10 |
| 申请人 |
SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS, INC. |
发明人 |
MCCULLOUGH, ANDREW W. |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;G03F7/22 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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