图像产生方法和用于检查基板的照明装置

摘要

本发明提供图像产生方法和用于检查基板的照明装置。为了产生用于检查基板的图像，在该基板上方提供照相机，其光轴取向向下，并且在照相机的光轴周围设置多个多色发光部件，使其位于相对于基板上的目标区域的指定角度范围之内。当控制这些发光部件的开启状态，以根据该检查目的的指定类型而改变照亮该目标区域的光的颜色和角度时，照相机被用于产生检查的目标区域的图像。

主权项

1.一种用于检查基板的图像产生方法，该方法包括如下步骤：在所述基板上方提供光轴取向向下的图像获取装置；在所述图像获取装置的所述光轴周围配有多个多色发光部件，使其位于相对于所述基板上的目标区域的指定角度范围之内；以及在控制所述发光部件的开启状态时操作所述图像获取装置，以便依据所述检查目的的指定类型改变照亮所述目标区域的光的颜色和角度，其中产生用于检查所述基板的所述目标区域的图像。