电激发光元件的制造方法及蒸镀遮罩

摘要

本发明提供一种电激发光元件的制造方法及蒸镀遮罩，以提高EL显示面板的蒸镀图案化精密度。本发明将蒸镀遮罩(12)配置于蒸发源(16)与塑料基板(10)之间，通过与形成于蒸镀遮罩(12)的EL元件的蒸镀层的图案对应的开口部，而选择性地使来自蒸发源(16)的蒸发物质通过，以于塑料基板(10)上形成蒸镀层。此蒸镀遮罩的材料可采用热膨胀系数与塑料基板10相同的材料、例如为±30％以内的材料、例如聚酰亚胺(PI：Polyimide)等塑料材料。此外就耐热性而言，则以例如较塑料基板(10)高约50℃以上的材料更为理想。将此种材料采用于蒸镀遮罩，而在蒸镀时，使塑料基板的热变形与蒸镀遮罩的热变形成为相同程度，以提高蒸镀图案化的精密度。

主权项

1.一种电激发光元件的制造方法，其是在塑料基板上制造多个电激发光元件的方法，其特征在于：为形成电激发光元件的蒸镀层，而以蒸发源将蒸镀元件材料蒸发，并于塑料基板上进行蒸镀时，采用热膨胀系数比前述塑料基板的热膨胀系数小，且对前述塑料基板的热膨胀系数为-30％以内的材料的蒸镀遮罩；以及将该蒸镀遮罩配置于前述蒸发源与前述塑料基板之间，使在进行前述蒸镀元件材料的蒸镀的同时得以对前述蒸镀层进行图案化的工艺。