为材料加工的生成和控制多条独立可操纵的激光束的系统与方法

摘要

一种具有多条独立可操纵的激光细束的激光加工系统，包括：激光器与光束成形器，用于生成成形源束；分束器级，用于由该成形源束生成多条细束；包括用于和对应于每条细束的独立可操纵细束操纵镜的细束控制器，用于独立地引导相应的细束；小镜控制器，用于控制每块细束操纵镜；和包含一扫描镜的光路，用于把每条受操纵的细束导向工件目标区。每块细束操纵镜都是一块多轴微机电小镜，系统还包括一位于光路内的束流收集器，可用相应的细束操纵镜把受操纵的细束拦入束流收集器。

主权项

1.一种用多条独立可操纵的激光细束加工工件的激光加工系统，其特征在于包括：生成成形源束的激光器与光束成形器，由成形源束生成多条细束的分束器级，细束控制器包括用于对应于每条细束以独立地引导该相应细束的独立可操纵的细束操纵镜，和控制每块细束操纵镜的小镜控制器，以及包括把每条操纵的细束导向工件目标区的扫描镜的光路。