| 发明名称 | ZnS－SiO<SUB>2</SUB>溅射靶及使用该靶形成了ZnS－SiO<SUB>2</SUB>相变化型光盘保护膜的光记录媒体 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种相对密度为90％以上的ZnS-SiO<SUB>2</SUB>溅射靶，其特征在于，使用将1-50摩尔％SiO<SUB>2</SUB>系玻璃粉末与其余的ZnS粉末均匀分散、混合的粉末烧结而成，所述的SiO<SUB>2</SUB>系玻璃粉末含有总计0.01-20重量％选自金属元素、硼、磷、砷或它们的氧化物的一种以上作为添加剂。通过能够以低成本稳定制造SiO<SUB>2</SUB>晶粒小、相对密度90％以上的靶，得到光盘保护膜形成用溅射靶，它能够进一步提高沉积的均匀性和提高生产率，并得到使用该溅射靶形成了ZnS-SiO<SUB>2</SUB>相变化型光盘保护膜的光记录媒体。 | ||
| 申请公布号 | CN1235213C | 申请公布日期 | 2006.01.04 |
| 申请号 | CN01822686.8 | 申请日期 | 2001.11.30 |
| 申请人 | 株式会社日矿材料 | 发明人 | 矢作政隆;高见英生 |
| 分类号 | G11B7/26(2006.01);C23C14/34(2006.01);G11B7/24(2006.01) | 主分类号 | G11B7/26(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 樊卫民;杨青 |
| 主权项 | 1.一种相对密度为90％以上的ZnS-SiO2溅射靶，其特征在于，使用将1-50摩尔％SiO2系玻璃粉末与其余的ZnS粉末均匀分散、混合的粉末烧结而成，所述的SiO2系玻璃粉末含有总计0.01-20重量％选自硼、磷、砷、金属元素、或它们的氧化物的一种以上作为添加剂，所述的金属元素由锂、钠、镁、钾、钙、钡组成。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||