| 发明名称 | 微小图案修正装置及微小图案的缺陷修正方法 | ||
| 摘要 | 一种可以短时间对微小图案的缺陷进行修正、装置价格低廉、装置设置面积小且修正质量好的微小图案修正装置。该微小图案修正装置具备：包括照射激光束以除去黑色缺陷的激光装置(1)、对缺陷进行观察的观察光学系统(2)、涂布墨水以修正缺色缺陷的墨水涂布单元(3)及对突起缺陷进行研磨、修正的带研磨单元(5)在内的修正头部(6)；用于修正头部(6)定位的XYZ台(7)～(9)，搭载被修正玻璃基板(10)的玻璃平台(11)。因而，可以1台装置对缺色缺陷、黑色缺陷及突起缺陷进行修正。 | ||
| 申请公布号 | CN1716043A | 申请公布日期 | 2006.01.04 |
| 申请号 | CN200510082397.4 | 申请日期 | 2005.06.27 |
| 申请人 | NTN株式会社;奥普德旺株式会社 | 发明人 | 猿田正弘;斋藤馨 |
| 分类号 | G02F1/1335(2006.01);G02B5/20(2006.01) | 主分类号 | G02F1/1335(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 方晓虹 |
| 主权项 | 1.一种对形成于基板(10)上的微小图案的缺陷进行修正的微小图案修正装置，其特征在于，该微小图案修正装置具备：包括将修正液(45)涂布于缺陷的涂布单元(3)、照射激光束以除去缺陷的激光装置(1)、对缺陷进行观察的观察光学系统(2)、对缺陷进行研磨的带研磨单元(5)的修正头部(6)；搭载所述基板(10)的工作台(11)；使所述修正头部(6)与所述工作台(11)相对移动而在三维空间进行定位的定位装置(7)～(9)。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||