集成方式的RF MEMS开关

摘要

一种基于微机电系统技术的射频开关，包含微机械(MEMS)部分和射频(RF)部分，实现开关功能的可移动开关结构设置在MEMS衬底上，采用MEMS部分和RF部分独立加工再将MEMS衬底与RF衬底对准键合在一起的方式。开关包含多个可移动电极，具有上拉和下拉两种驱动状态。根据本发明的技术方案，开关的切换速度快、驱动电压低、稳定性好。采用独立加工再键合的方式，降低了工艺的复杂度，同时可抵抗外界污染物。

主权项

1、一种RF MEMS开关，所述开关包括：MEMS部分，包括：一MEMS衬底，设置在该MEMS衬底上的第一固定电极，及设置在MEMS衬底上的可移动开关结构，其中设置在该可移动开关结构上的桥接电极可在MEMS衬底和RF衬底之间上下运动，实现RF信号通路的接通和断开；键合到MEMS部分的RF部分，包括：一RF衬底及设置到该RF衬底上的第二固定电极和RF信号传导单元。