镓氮系半导体装置

摘要

一种具有p型层之氮化镓系半导体元件，该p型层系含有p型杂质和展现p型导电性之氮化镓化合物半导体层。P型层包含项层和位在顶层下方之内层。内层含有p型杂质元素和与其结合的氢。