高纯度草酸水溶液的回收方法

摘要

本发明系提供从处理过含铟被蚀刻材料的草酸蚀刻废液回收高纯度草酸水溶液的方法。其解决手段系从处理过含铟被蚀刻材料之草酸蚀刻废液，分离经溶解的金属成份而回收高纯度草酸水溶液之方法，其为使草酸蚀刻废液与阴离子交换树脂进行接触处理之高纯度草酸水溶液的回收方法。藉由此回收方法可回收高纯度的草酸水溶液，而且因为可作为蚀刻液再利用，可减轻蚀刻处理中之草酸使用量，故可降低透明电极的制造成本。