晶圆生产设备之备份方法

摘要

本发明系有关于一种晶圆生产设备之备份方法，其中该晶圆生产设备系包含有一控制系统及一工作硬碟，然后利用将复数个备份硬碟与该控制系统连接，使该控制系统运作时不但能于该工作硬碟中读写参数资料，而且并能自动依预定之时间设定而将参数资料同时依序写入各个备份硬碟之中；如此，便可使各个备份硬碟储存有预定时间之参数资料，以降低硬碟损坏而遗失资料之风险，而且并可使资料之寻找取得更为容易者。