基板处理装置

摘要

【课题】提供一种基板处理装置，其具备可均匀产生电浆，同时，容易安装于装置上之构造的电极。【解决手段】本发明之基板处理装置，其具有：收容晶圆200的处理室201；将处理气体供应给处理室201内的气体供给系统232a、232b；排出处理室201内的环境气体的排气系统231、246；及一对电极269、270，可拔地收容于保护管275内，用于将处理气体电浆化；电极269、270系由可挠性构件所构成，且以至少一处被弯曲的状态收容于保护管275内。