发明名称 | 一种化学储槽之线上监控系统 | ||
摘要 | 一种化学储槽之监控系统,包含有一槽体,其由一导电壳体以及绝缘内衬所构成,用以承装化学液;一侦测电极,浸入该槽体所承装之该化学液中;以及一量测装置,电连接该侦测电极,其中该侦测量测装置并且电连接该导电壳体。当该绝缘内衬被蚀穿,造成该槽体所承装之该化学液接触该导电壳体时,该侦测量测装置即可接收到一相对讯号。 | ||
申请公布号 | TW200600768 | 申请公布日期 | 2006.01.01 |
申请号 | TW093119756 | 申请日期 | 2004.06.30 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 林鸿祥;林崑阳;洪舜立;李玉郎;沈育仁 |
分类号 | G01N17/02;H01L21/66 | 主分类号 | G01N17/02 |
代理机构 | 代理人 | 许锺迪 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |