发明名称 一种化学储槽之线上监控系统
摘要 一种化学储槽之监控系统,包含有一槽体,其由一导电壳体以及绝缘内衬所构成,用以承装化学液;一侦测电极,浸入该槽体所承装之该化学液中;以及一量测装置,电连接该侦测电极,其中该侦测量测装置并且电连接该导电壳体。当该绝缘内衬被蚀穿,造成该槽体所承装之该化学液接触该导电壳体时,该侦测量测装置即可接收到一相对讯号。
申请公布号 TW200600768 申请公布日期 2006.01.01
申请号 TW093119756 申请日期 2004.06.30
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 林鸿祥;林崑阳;洪舜立;李玉郎;沈育仁
分类号 G01N17/02;H01L21/66 主分类号 G01N17/02
代理机构 代理人 许锺迪
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号