PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PULVERISATION ELECTROHYDRODYNAMIQUE, NOTAMMENT EN POST-DECHARGE

摘要

L'invention concerne un procédé de dépôt d'une couche mince polymère sur un substrat pour la fonctionnalisation de la surface du substrat, comportant les étapes consistant à :- effectuer une pulvérisation électrohydrodynamique d'un précurseur polymérisable en direction du substrat de manière à réaliser un dépôt électrostatique de gouttelettes électriquement chargées dudit précurseur et former la couche mince sur la surface du substrat par polymérisation des gouttelettes ;- soumettre le substrat à un plasma généré sous l'action d'une décharge électrique de manière à activer la surface du substrat ;le procédé étant caractérisé en ce que les étapes d'activation et de pulvérisation sont mises en oeuvre simultanément de manière à ce qu'une portion au moins des espèces excitées par la décharge électrique vienne interagir avec les gouttelettes du précurseur pulvérisé, favorisant ainsi les réactions de polymérisation dudit précurseur.L'invention concerne également un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé, notamment pour déposer une couche mince polymère sur un substrat-film en défilement.