Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken

摘要

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Die Werkstücke werden in eine zumindest teilweise evakuierbare Plasmakammer einer Behandlungsstation eingesetzt, wobei die Plasmakammer von einem rotationsfähigen Plasmarad entlang eines geschlossenen Umlaufweges transportiert wird. Mindestens zwei Werkstücke werden von Halteelementen innerhalb der Behandlungsstation positioniert. Ebenfalls werden mindestens zwei Halteelemente der Behandlungsstation in einer Arbeitspositionierung mit einem relativ zueinander unterschiedlichen radialen Abstand zu einer Rotationsachse des Plasmarades positioniert.