发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01137685(A) 申请公布日期 1989.05.30
申请号 JP19870296593 申请日期 1987.11.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAGUCHI YUTAKA;EDA KAZUO;MIWA TETSUJI
分类号 C04B41/80;C01G1/00;C04B41/89;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C04B41/80
代理机构 代理人
主权项
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