发明名称 Mikrospiegelvorrichtung und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69923294(T2) 申请公布日期 2005.12.29
申请号 DE19996023294T 申请日期 1999.10.07
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 TSUGAI, MASAHIRO;KONNO, NOBUAKI;FUJITA, HIROYUKI;MITA, MAKOTO;TOSHIYOSHI, HIROSHI;MITA, YOSHIO
分类号 B81B1/00;B81B3/00;G02B26/08;G02B26/10;(IPC1-7):G02B26/08;B81C1/00 主分类号 B81B1/00
代理机构 代理人
主权项
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