发明名称 准量子阱有源区、薄层波导半导体光放大器集成模斑转换器
摘要 一种准量子阱有源区、薄层波导半导体光放大器集成模斑转换器,其特征在于,其中包括:一铟磷衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在铟磷衬底上,以便消除铟磷衬底上的微缺陷;一下波导层,该波导层制作在缓冲层上;一准量子阱有源区,该准量子阱有源区制作在波导层上,以实现宽带增益;一上波导层,该上波导层制作在准量子阱有源区上;一包层,该包层制作在上波导层上;一接触层,该接触层制作在包层上;该包层、接触层形成带模斑转换器的脊形波导。
申请公布号 CN1713472A 申请公布日期 2005.12.28
申请号 CN200410050003.2 申请日期 2004.06.25
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 丁颖;王圩;王书学;朱洪亮
分类号 H01S5/34;H01S5/20;H01S5/22 主分类号 H01S5/34
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种准量子阱有源区、薄层波导半导体光放大器集成模斑转换器,其特征在于,其中包括:一铟磷衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在铟磷衬底上,以便消除铟磷衬底上的微缺陷;一下波导层,该波导层制作在缓冲层上;一准量子阱有源区,该准量子阱有源区制作在波导层上,以实现宽带增益;一上波导层,该上波导层制作在准量子阱有源区上;一包层,该包层制作在上波导层上;一接触层,该接触层制作在包层上;该包层、接触层形成带模斑转换器的脊形波导。
地址 100083北京市海淀区清华东路甲35号
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