发明名称 |
准量子阱有源区、薄层波导半导体光放大器集成模斑转换器 |
摘要 |
一种准量子阱有源区、薄层波导半导体光放大器集成模斑转换器,其特征在于,其中包括:一铟磷衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在铟磷衬底上,以便消除铟磷衬底上的微缺陷;一下波导层,该波导层制作在缓冲层上;一准量子阱有源区,该准量子阱有源区制作在波导层上,以实现宽带增益;一上波导层,该上波导层制作在准量子阱有源区上;一包层,该包层制作在上波导层上;一接触层,该接触层制作在包层上;该包层、接触层形成带模斑转换器的脊形波导。 |
申请公布号 |
CN1713472A |
申请公布日期 |
2005.12.28 |
申请号 |
CN200410050003.2 |
申请日期 |
2004.06.25 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
丁颖;王圩;王书学;朱洪亮 |
分类号 |
H01S5/34;H01S5/20;H01S5/22 |
主分类号 |
H01S5/34 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种准量子阱有源区、薄层波导半导体光放大器集成模斑转换器,其特征在于,其中包括:一铟磷衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在铟磷衬底上,以便消除铟磷衬底上的微缺陷;一下波导层,该波导层制作在缓冲层上;一准量子阱有源区,该准量子阱有源区制作在波导层上,以实现宽带增益;一上波导层,该上波导层制作在准量子阱有源区上;一包层,该包层制作在上波导层上;一接触层,该接触层制作在包层上;该包层、接触层形成带模斑转换器的脊形波导。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |