单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法

摘要

本发明公开了一种单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法，该测试系统主要由数据采集单元、信号汇集转发单元、模/数转换单元、数据分析处理单元和数据显示输出单元组成，各单元之间按照上述排列顺序通过信号线进行连接；使用本发明提供的测试系统和测试方法可以方便、准确地测量单晶炉热场的三维分布情况，可以快速获得在热场中分布比较均匀的几百万个以上的资料点，并将测试结果自动记录入数据库，绘制出比较精确的热场三维温度分布图，并可作任意角度的二维剖面图，得到比较真实的温度分布剖面图，为单晶炉热场研究提供了一种方便的测试设备。

主权项

1、一种单晶炉三维热场分布全自动测试系统，其特征在于：它主要由数据采集单元、信号汇集转发单元、模/数转换单元、数据分析处理单元和数据显示输出单元组成，各单元之间按照上述排列顺序通过信号线进行连接；所述数据采集单元由热电偶阵列、高度信号传感器和偏转角度信号传感器组成；所述信号汇集转发单元由信号汇集环和信号转发器组成；所述数据分析处理单元由计算机数据处理软件、资料存储系统和热场分析系统组成。