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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EINHEIT MIT EINER RÄUMLICHEN OBERFLÄCHENSTRUKTURIERUNG SOWIE VERWENDUNG DIESES VERFAHRENS
摘要
申请公布号 DE50301688(D1) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 DE2003501688 申请日期 2003.05.07
申请人 UNAXIS BALZERS AG, BALZERS 发明人 GRABHER, PATRICK;HEINE-KEMPKENS, CLAUS;BISCHOFBERGER, ROGER
分类号 G03F7/00;G03F7/40;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00;G02B7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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