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发明名称 Ätzen eines Metallsilizids mit HCl und Chlor
摘要
申请公布号 DE69734626(D1) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 DE19976034626 申请日期 1997.05.06
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, TOKIO/TOKYO;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK;SIEMENS AG 发明人 HOH, PETER D.;OHIWA, TOKUHISA;GREWAL, VIRINDER;SPULER, BRUNO;KOCON, WALDEMAR;WILTSHIRE, GUADALUPE
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L49/00;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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