发明名称 Wellenlängenselektor für den weichen Röntgen- und den extremen Ultraviolettbereich
摘要 Die Erfindung betrifft einen Wellenlängenselektor für den weichen Röntgen- und/oder extremen Ultraviolettbereich, wobei der Wellenlängenselektor mindestens zwei Reflektoren aufweist, die derart optisch in Reihe geschaltet sind, dass ein auf den ersten Reflektor eintreffender Einfallsstrahl in einer im Wesentlichen festen Winkelbeziehung zu dem vom letzten Reflektor reflektierten Strahl verläuft, wobei mindestens einer der Reflektoren (M1, M2, M3, M4) einen wellenlängenselektiven Bereich aufweist und der Einfallswinkel (alpha, alpha + THETA) von mindestens zwei der Reflektoren (M1, M2, M3, M4) zur Wellenlängenselektion veränderbar ist. Die Erfindung löst ein Problem, einen im Laborbetrieb anwendbaren Wellenlängenselektor für den weichen Röntgenbereich anzugeben, der die Bereitstellung von durchstimmbarer weicher Röntgenstrahlung bzw. extremer UV-Strahlung, insbesondere im Wellenlängenbereich von 10-15 nm, preiswert ermöglicht und der sich in bestehenden Laboranlagen einfach einfügen lässt.
申请公布号 DE102004027347(A1) 申请公布日期 2005.12.22
申请号 DE200410027347 申请日期 2004.05.27
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHWARZL, SIEGFRIED;WURM, STEFAN
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G21K1/06 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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