Herstellung von Organosilanestern

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein spezielles Verfahren zur Herstellung von Organosilanestern gemäß Formel I und eines Mittels mit einem Gehalt an Organosilanester gemäß Formel I von mehr als 98 Gew.-% und einem Gehalt mindestens eines Kohlenwasserstoffs von weniger als 2,0 Gew.-% sowie die Verwendung eines solchen Mittels als Prekursor zur Erzeugung einer Schicht mit einer Dielektrizitätskonstante 1 < kappa 4.