内置式可控移动阳极场致电子发射测试装置

摘要

内置式可控移动阳极场致电子发射测试装置，属电子材料测试设备行业。现有装置缺点：阳极需在真空室外装卡，使得样品制备后不能直接测量，必须暴露大气，与未暴露大气前比已变化；绝缘膜与阳极分离，绝缘膜易变形，装卡时的形变会有差别，引起阴、阳极间距离误差较大；装卡的操作过程也比较烦琐复杂。本实用新型包括真空室、真空泵系统、阳极部分、阴极部分、由可移动杆控制器和可移动杆组成的可移动杆控制组件、电学测量仪；其特征在于：所述的阳极部分是将阳极(1)和绝缘膜(4)一体化而成，见图，即在阳极(1)表面用常规方法镀上一层绝缘膜(4)，在绝缘膜(4)上中心位置留出一个区域不镀绝缘膜，该区域作为场发射测试面积。

主权项

1、内置式可控移动阳极场致电子发射测试装置，包括真空室(10)、真空泵系统(14)、阳极部分(7)、阴极部分(6)、由可移动杆控制器(9)和可移动杆(8)组成的可移动杆控制组件、电学测量仪(12)；真空室(10)下边与真空泵系统(14)由真空管道(13)相连以便获得高真空，上边装有可移动杆控制器(9)，用以控制可移动杆(8)上下移动；与可移动杆(8)相连的是阳极部分(7)，阳极部分(7)下边是阴极部分(6)；阳极部分(7)和阴极部分(6)都由导线(11)与电学测量仪(12)相连，其特征在于：所述的阳极部分(7)是将阳极(1)和绝缘膜(4)一体化而成，即在阳极(1)表面用常规方法镀上一层绝缘膜(4)，在绝缘膜(4)上中心位置留出一个区域不镀绝缘膜，该区域作为场发射测试面积。