高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法

摘要

一种高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法，包括以下步骤：搭建一个马赫—陈德尔干涉仪，并用一CCD探测器拍摄一张带有载波条纹的干涉图样；在该马赫—陈德尔干涉仪的一臂中，插入一块精度为λ/10的位相样板，再拍摄一张被样板调制的载波条纹的干涉图样；将上述两张干涉图样输入到计算机中去，分别进行傅里叶变换，在频域中将零级波和负一级波或正一级波滤掉，然后对留下的正一级波或负一级波进行逆变换，取出干涉图样的位相信息，并将所取出的两个位相信息相减后进行放大；在从位相放大的干涉图中，取出比较平坦的局域部分，再进行位相差放大，即可完成数字干涉仪空间分辨率的标定。

主权项

1、一种高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法，其特征在于按以下步骤进行：1)在该马赫—陈德尔干涉仪上用一CCD探测器拍摄一张带有载波条纹的干涉图样；2)在该马赫—陈德尔干涉仪的一臂中，插入一块精度为λ/10的位相样板，再用CCD探测器拍摄一张被样板调制的载波条纹的干涉图样；3)将上述两张干涉图样输入到计算机中去，分别进行傅里叶变换，在频域中将傅立叶变换的零级波和负一级波或正一级波滤掉，然后对留下的正一级波或负一级波进行逆变换，取出干涉图样的位相信息；4)将所取出的干涉图样的两个位相信息相减后进行放大；5)从位相放大的干涉图中，取出比较平坦的局域部分再进行位相差放大，即可完成数字干涉仪空间分辨率的标定。