| 发明名称 |
Method and apparatus for calibrating scatterometry-based metrology tool used to measure dimensions of features on a semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2406215(B) |
申请公布日期 |
2005.12.21 |
| 申请号 |
GB20040019077 |
申请日期 |
2002.12.17 |
| 申请人 |
* ADVANCED MICRO DEVICES, INC |
发明人 |
HOMI E * NARIMAN |
| 分类号 |
G01B11/02;G01N21/47;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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