发明名称 SHALLOW TRENCH ISOLATION LAYER PREVENTABLE LEAKAGE CURRENT AND METHOD FOR FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050119412(A) 申请公布日期 2005.12.21
申请号 KR20040044494 申请日期 2004.06.16
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JAE SEOK
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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