| 摘要 |
在一用以表示一包括在一基板上所形成之配线的图案之参考二进制影像中，对一具有相同于对应一配线区域之像素值的特定区域实施侵蚀以获得一侵蚀影像以及以几乎相同于该侵蚀之程度对在该侵蚀影像中所保留的特定区域实施扩大以获得一侵蚀及扩大影像。接着，在该侵蚀及扩大影像与该参考二进制影像间产生一差分影像以做为一用以表示一配线区域之配线影像。因而可以轻易地撷取出一为精细图案区域的布线区域。藉由依据该配线影像对该配线区域及其它区域设定个别不同缺陷检测灵敏度及依据该等缺陷检测灵敏度检测在一检查影像中之缺陷，可适当地检测在一基板上之图案中的缺陷。 |
