| 摘要 |
本发明揭示一种方法及合成物，其用以在电镀一金属层，例如铜之材料层至一待电镀表面时，可实质上促进电化学电镀(ECP)电解液对该待电镀表面之湿润性。此合成物系有机混合物，其包含一有机酸，例如柠檬酸(citric acid)或醋酸(acetic acid)；及一低分子量非离子聚合物，例如烷氧基化醇(alcohol alkoxylate)，烷氧基化胺(amine alkoxylate)或烷氧基化烷酚(alkyphenol alkoxylate)。上述方法系包含在电解质溶液内悬浮一层此合成物；以及将待电镀表面通过此合成物悬浮层以定义一湿润层于待电镀表面上。然后，被电镀至待电镀表面上之金属，其实质上并无凹洞或其他结构性缺陷存在。 |
