具额外层之单晶矽感测器及其制造方法

摘要

一种以绝缘层上覆矽为基材的微机电系统元件，其具有基础层、元件层，与介于基础层与元件层间之绝缘层。此元件并有部份与元件层相隔之沈积层。元件层系介于绝缘层与沈积层之间。