摘要 |
Band- bzw. Klebebandexpansionsvorrichtung zum Expandieren bzw. Aufweiten eines Halteklebebandes, welches auf einem ringförmigen Rahmen festgelegt ist und auf welchem ein Wafer, der eine Mehrzahl von Bereichen aufweist, die durch eine Mehrzahl von Unterteilungslinien unterteilt sind, festgelegt ist, umfassend Rahmenhaltemittel zum Halten des ringförmigen Rahmens; eine Mehrzahl von Bandhaltemitteln zum Klemmen eines Bereiches zwischen dem Innenumfang des ringförmigen Rahmens und dem Wafer des Halteklebebandes, welches an dem ringförmigen Rahmen festgelegt ist, der auf den Rahmenhaltemitteln gehalten ist; und Bandexpansionsmittel zum Bewegen der Mehrzahl von Bandhaltemitteln in radialen Richtungen.
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