发明名称 Bandexpansionsvorrichtung
摘要 Band- bzw. Klebebandexpansionsvorrichtung zum Expandieren bzw. Aufweiten eines Halteklebebandes, welches auf einem ringförmigen Rahmen festgelegt ist und auf welchem ein Wafer, der eine Mehrzahl von Bereichen aufweist, die durch eine Mehrzahl von Unterteilungslinien unterteilt sind, festgelegt ist, umfassend Rahmenhaltemittel zum Halten des ringförmigen Rahmens; eine Mehrzahl von Bandhaltemitteln zum Klemmen eines Bereiches zwischen dem Innenumfang des ringförmigen Rahmens und dem Wafer des Halteklebebandes, welches an dem ringförmigen Rahmen festgelegt ist, der auf den Rahmenhaltemitteln gehalten ist; und Bandexpansionsmittel zum Bewegen der Mehrzahl von Bandhaltemitteln in radialen Richtungen.
申请公布号 DE102005014740(A1) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 DE200510014740 申请日期 2005.03.31
申请人 DISCO CORPORATION, TOKIO 发明人 NAGAI, YUSUKE;OHMIYA, NAOKI;IIZUKA, KENTARO
分类号 H01L21/301;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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