发明名称 A METHOD OF SCRIBING AND BREAKING BRITTLE SHEETS AND AN APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20050118148(A) 申请公布日期 2005.12.15
申请号 KR20050115309 申请日期 2005.11.30
申请人 MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 WAKAYAMA HARUO
分类号 B26F3/00;C03B33/033;H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B26F3/00
代理机构 代理人
主权项
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