| 发明名称 | 抽水方法和抽水装置 | ||
| 摘要 | 一种抽水的方法，能够轻松清除附着于抛光设备的一块板上的支撑元件中包含的过量的水。在该方法中，通过如下步骤从支撑元件中除去过量的水：将吸水元件压到支撑元件的保持表面上，其中工件被粘附和保持在该表面上，以便从支撑元件中吸出过量的水；并抽出被吸水元件吸收的过量的水。 | ||
| 申请公布号 | CN1706595A | 申请公布日期 | 2005.12.14 |
| 申请号 | CN200510083725.2 | 申请日期 | 2005.03.31 |
| 申请人 | 不二越机械工业株式会社 | 发明人 | 中村由夫;小川三江;桥诘健二 |
| 分类号 | B24B39/06;H01L21/304 | 主分类号 | B24B39/06 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 顾峻峰 |
| 主权项 | 1.一种抽水方法，用于从附着于抛光设备的一块板的一个侧面上的支撑元件中除去所述支撑元件中包含的用于粘附待抛光工件的过量的水，它包括如下步骤：将吸水元件压到所述支撑元件的保持表面上，其中工件被粘附并保持在该表面上，以此从所述的支撑元件中吸收过量的水；抽取被所述吸水元件吸收的过量的水。 | ||
| 地址 | 日本长野县 | ||