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发明名称 METHOD OF FORMING DUAL DAMASCENE PATTERN
摘要
申请公布号 KR20050117131(A) 申请公布日期 2005.12.14
申请号 KR20040042345 申请日期 2004.06.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SON, HONG SEONG;KIM, MI YOUNG;KIM, TAI HYOUNG;KOO, JA EUNG
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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