样品的倾斜误差调整的辅助方法

摘要

本发明涉及一种样品的倾斜误差调整的辅助方法。一个夹具所夹持的一个套管转动一个预定的角度时，在三个或更多的转动位置获得套管的一个球形前端面的干涉条纹图象。在如此获得的三个或更多干涉条纹图象中获得各自的干涉条纹中心位置。计算通过每个干涉条纹中心位置附近的一个圆的中心位置，并使之确定为一个测量中心位置。将测量中心位置和一个对应套管球形前端部分的转动中心位置的位置之间的相对距离信息、或者相对距离信息和相对方向信息，作为套管轴线的一个倾斜误差调整值加以输出。

主权项

1.一种样品倾斜误差调整的辅助方法，用于在使用一种干涉仪观察一个夹具夹持的作为样品的一个套管的一个前端曲面时辅助进行所述套管的一条轴线的倾斜误差调整，这种方法包括以下步骤：使所述套管相对于所述夹具转动一个预定的角度而又处于所述套管由所述夹具保持的状态，使所述干涉仪获得所述套管的所述前端曲面分别在三个或更多的转动位置的干涉条纹图象；用如此获得的至少三个干涉条纹图象确定各自的干涉条纹中心位置；基于各自确定的干涉条纹中心位置，计算环绕一个三角形的外接圆的一个中心位置；该三角形的顶点分别为预定的三个干涉条纹中心位置，并将如此计算的环绕三角形的外接圆的中心位置确定为一个测量中心位置；以及输出所述测量中心位置和一个对应所述套管的所述前端曲面的一个转动中心位置之间的相对距离信息，或者所述相对距离信息和相对方向信息，作为所述套管的所述轴线的一个倾斜误差调整值。