发明名称
摘要
申请公布号 JP3727299(B2) 申请公布日期 2005.12.14
申请号 JP20020322755 申请日期 2002.11.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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