| 发明名称 |
Method for spin coating including sol-gel processing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1371620(B1) |
申请公布日期 |
2005.12.14 |
| 申请号 |
EP20030012702 |
申请日期 |
2003.06.04 |
| 申请人 |
FACHHOCHSCHULE KIEL |
发明人 |
ES-SOUNI, MOHAMMED, PROF. DR.;PIORRA, ANDRE |
| 分类号 |
C03C17/00;C04B35/624;C04B41/45;C04B41/87;C23C18/12;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C03C17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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