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发明名称 FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050116121(A) 申请公布日期 2005.12.09
申请号 KR20050113447 申请日期 2005.11.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;C02F9/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/8234;H01L27/10;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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